|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ФНКЦ РР |
||
Способ контроля параметров плазмы низкого давления в высокочастотном емкостном разрядепатент
- Авторы: Ковалевский В.Л., Кузовников А.А., Рябый В.А., Савинов В.П., Спорыхин А.А., Якунин В.Г.
- Номер: А.С. СССР № 1531827, H01L 21/00
- Дата публикации патента: 26 июня 1987 г.
- Добавил в систему: Якунин Валерий Георгиевич