|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ФНКЦ РР |
||
Плазмохимический реакторпатент
- Авторы: Бояршинов Ю.А., Ермолова Н.А., Маляров А.В., Рябый В.А., Савинов В.П., Спорыхин А.А., Якунин В.Г.
- Номер: А.С. СССР № 1609392, 5H01L 21/302
- Дата публикации патента: 17 июня 1988 г.
- Добавил в систему: Якунин Валерий Георгиевич