|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ФНКЦ РР |
||
Способ плазмохимической обработки подложек и устройство для его осуществления.патент
- Авторы: Рябый В.А., Савинов В.П., Спорыхин А.А., Ли Х.Дж
- Номер: Пат. РФ № RU2178219
- Дата публикации патента: 21 ноября 2000 г.
-
Реферат (описание изобретения):
Предложен способ плазмохимической обработки подложек для целей микроэлектроники и конструкция устройства для его осуществления.
- Добавил в систему: Савинов Владимир Павлович