ИСТИНА

Способ нанесения многослойного покрытия на оптические подложки, включающий напыление, осуществляемое путем электронно-лучевого испарения материала покрытия в вакууме и осаждения паров на поверхности подложки, отличающийся тем, что нанесение многослойного покрытия на оптические подложки происходит при вращении подложек механизмом с планетарной передачей, а контроль процесса напыления происходит с помощью комбинированной системы широкополосного оптического контроля, включающей в себя как прямой оптический контроль, выполняющий измерения спектра пропускания покрытия подложки в процессе напыления на каждом обороте подложки вокруг оси вакуумной камеры, причем за один оборот последовательно выполняются измерения на всех вращающихся подложках, так и косвенный оптический контроль, выполняющий измерения спектра пропускания покрытия образца-свидетеля, работающий параллельно с прямым оптическим контролем все время напыления и осуществляющийся по образцу-свидетелю, рассчитанному на несколько позиций, при этом для прямого оптического контроля и для косвенного оптического контроля автоматически рассчитывается значение функции невязки напыляемого слоя, являющееся мерой несовпадения измеряемой кривой спектра пропускания покрытия и расчетной кривой спектра пропускания покрытияи вычисляемое путем деления суммы модулей разностей между измеренным значением пропускания и расчетным его значением в каждой спектральной точке на количество спектральных точек 2. Установка для нанесения многослойного покрытия на оптические подложки, содержащая вакуумную камеру с устройством для регулирования величины вакуума, размещенные в камере электронно-лучевые испарители, отличающаяся тем, что содержит механизм вращения подложкодержателей с планетарной передачей, включающий привод механизма вращения и вращающуюся вокруг своей оси платформу с подложкодержателями, вращающимися вокруг своих осей, и дополнительно оборудована комбинированной системой широкополосного оптического контроля, включающей в себя прямой оптический контроль и косвенный оптический контроль.