![]() |
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ФНКЦ РР |
||
Изобретение относится к получению составов для травления пьезокварца и может быть использовано при изготовлении пьезоэлементов из кристаллического кварца в радиоэлектронной промышленности. Раствор для травления включает плавиковую кислоту, бифторид аммония, хинолин, каптакс и воду. Хинолин и каптакс снимают агрессивность раствора по отношению к металлическому покрытию и фоторезистной пленке и повышают качество поверхности травления и четкости контура фигур травления. Верхний предел концентраций хинолина и каптакса определяется растворимостью их в водном растворе(для хинолина 0,1%,для каптакса 0,05%).
№ | Имя | Описание | Имя файла | Размер | Добавлен |
---|---|---|---|---|---|
1. | Полный текст | патент | Patent_Rastvor__dlya_travleniya_pezoelementov.doc | 418,5 КБ | 12 октября 2016 [DanchevskayaMN] |