ИСТИНА

Способ может использоваться при межоперационном контроле механических напряжений и дефектов в функциональных слоях. Способ включает эллипсометрические измерения показателя преломления на локальных участках пленки, однократное определение на каждом участке пленки толщины dƒ и показателей преломления для обыкновенного no и необыкновенного ne лучей, по которым рассчитывают значения величины двойного лучепреломления Δn: Δn=(no-ne). Карту механических напряжений σ и вызванных ими дефектов определяют по закону фотоупругости: σ=Δn/k, где k - упругооптическая постоянная, определяемая по формуле: k=Δn/σ, с использованием величины σ, определенной по формуле Стоуни σ=(Es ds^2)/(6(1- ν) dƒ R): где ds, ν и Es - соответственно толщина, коэффициент Пуассона и модуль Юнга подложки, R - эффективный радиус кривизны подложки с пленкой. Топографический рельеф - локальные радиусы кривизны поверхности - определяют по величине двойного лучепреломления Δn и толщине слоя dƒ. Технический результат - уменьшение времени и сложности контроля дефектности и механических напряжений и расширение номенклатуры измеряемых параметров. 1 табл., 2 ил.