|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ФНКЦ РР |
||
КАТОДНЫЙ УЗЕЛ ПРЕИМУЩЕСТВЕННО ДЛЯ ПУЧКОВО-ПЛАЗМЕННОГО НАНЕСЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК В ВАКУУМЕпатент
- Авторы: Ивашов Е.Н., Кондрашов П.Е., Оринчев С.М., Слепцов В.В., Степанчиков С.В.
- Номер: RU 2046154 C1
- Дата публикации патента: 20 октября 1995 г.
- Добавил в систему: Кондрашов Павел Евгеньевич