|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ФНКЦ РР |
||
Установка для горизонтальной односторонней очистки поверхности круглых пластин полупроводниковых и оптических материалов патент
- Авторы: Ковальчук М.В., Каневский В.М., Тихонов Е.О., Дерябин А.Н.
- Номер: 0053592
- Дата публикации патента: 27 мая 2006 г.
- Добавил в систему: Ковальчук Михаил Валентинович