Область научных интересов

Не указана.

Образование

  • 2019 к.ф.-м.н. Особенности формирования энергетического спектра ионов на поверхности электрода в реакторах плазмохимического травления

Результаты деятельности

Всего: 15 статей, 1 диссертация, 14 НИР, 5 учебных курсов, 12 докладов на конференциях, 1 выступление в СМИ.

Количество цитирований статей в журналах по данным Web of Science: 23, Scopus: 48

Просмотреть публикации »

Соавторы: Лопаев Д.В., Зырянов С.М., Рахимова Т.В., Зотович А.И., Рахимов А.Т., Волошин Д.Г., Baklanov M.R., Волынец А.В., Глотов А.В., Прошина О.В., Сысоев Н.Н., Шибанов Д.Р., Attallah A.G., Butterling M., Hirschmann E., Liedke M.O., Naumov S., Novikova N.N., Seregin D.S., Shi X., Vishnevskiy A., Vishnevskiy A.S., Vorotilov K.A., Vorotilov K., Vorotyntsev D.A., Wagner A., Манкелевич Ю.А., Палов А.П., Резванов А.А., Серегин Д.С.