![]() |
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ФНКЦ РР |
||
Целью работы является исследование параметров дифракционных субволновых (для диапазона длин волн от 0.5 мкм до 10 мкм) оптических элементов и разработка процессов их изготовления методом электронно-лучевой литографии. В процессе работы должны быть отработаны процессы нанесения, экспонирования и обработки электронорезиста для получения дифракционных микроструктур с глубиной рельефа не менее половины длины волны выбранного диапазона. А также исследованы геометрические параметры и оптические свойства полученных микроструктур.
Хоздоговор, Хоздоговор |
# | Сроки | Название |
1 | 1 апреля 2014 г.-31 марта 2015 г. | Отработка технологии нанесения, экспонирования и обработки резистов ЭРП-40 толщиной до 2 мкм и SU-8 толщиной до 5 мкм |
Результаты этапа: | ||
2 | 1 апреля 2015 г.-31 марта 2016 г. | Изготовление субволновых дифракционных элементов с характерной высотой рельефа до 5 мкм для элементов отражающего типа ИК-диапазона 10.6 мкм. Исследование параметров изготовленных дифракционных элементов |
Результаты этапа: | ||
3 | 1 апреля 2016 г.-31 марта 2017 г. | Изготовление субволновых дифракционных элементов с характерной высотой рельефа до 2 мкм для элементов пропускающего типа ближнего ИК-диапазона и дифракционных элементов с характерной высотой рельефа до 0.4 мкм для элементов пропускающего типа видимого диапазона.. Исследование параметров изготовленных дифракционных элементов |
Результаты этапа: |
Для прикрепления результата сначала выберете тип результата (статьи, книги, ...). После чего введите несколько символов в поле поиска прикрепляемого результата, затем выберете один из предложенных и нажмите кнопку "Добавить".