Закономерности твердофазной эпитаксии при кристаллизации аморфных оксидных пленокНИР

Solid-Phase Epitaxy Laws of Amorphous Oxide Films Crystallization Process

Источник финансирования НИР

грант РФФИ

Этапы НИР

# Сроки Название
1 1 января 2016 г.-31 декабря 2016 г. Закономерности твердофазной эпитаксии при кристаллизации аморфных оксидных пленок
Результаты этапа: В 2016 году удалось обнаружить и задействовать основные факторы, влияющие на получение текстурированных кристаллических оксидных пленок La2Zr2O7 на металлической подложке из сплава Cu(68,4%)Ni(30%)Fe(1,6%). Для этого был рассмотрен процесс рекристаллизации подложки, подобран и изучен прекурсор для нанесения пленок методом CSD, получена гетероэпитаксиальная структура <001>{001} La2Zr2O7/Cu(68,4%)Ni(30%)Fe(1,6%). При этом остается нерешенная задача с поиском оптимального времени отжига металлической ленты, для чего будут выполнены дополнительные эксперименты, будет рассмотрено действие УФ-излучения уже на пленку, а также задействовано металлическая подложка нового сплава «константан».
2 1 января 2017 г.-31 декабря 2017 г. Закономерности твердофазной эпитаксии при кристаллизации аморфных оксидных пленок
Результаты этапа: 1) дана характеристика кристаллизационных процессов для металлических подложек сплавов Cu-Ni-Fe и Ni-W; 2) изучены приемы сглаживания поверхности металлических подложек путем механической полировки и электрохимической полировки; 2) выполнены эксперименты во воздействию УФ-излучения на порошки La2Zr2O7, получаемых из прекурсора для растворного метода dip-coating; 3) подробно рассмотрена взаимосвязь качества текстуры между слоями в композиции YBa2Cu3O7/La2Zr2O7/Ni-W с помощью метода просвечивающей электронной микроскопии.
3 1 января 2018 г.-31 декабря 2018 г. Закономерности твердофазной эпитаксии при кристаллизации аморфных оксидных пленок
Результаты этапа: в работе получены двухоснотекстурированные металлические ленты. Показано, что нагревание в интервале 900-1100 оС приводит к значительным перестройкам, рекристаллизации и образованию зеренной структуры. При этом побочным негативным явлением является увеличение шероховатости поверхности вследствие образования границ зерен. Методом электрохимического полирования удалось влиять на шероховатость. Изучение гетероструктуры YBCO/Y2O3/LZO/Ni, имеющей максимальные электрофизические характеристики, методом просвечивающей электронной микроскопии позволило обнаружить ряд особенностей. Во-первых, закрытая пористость слоя LZO, в сравнении с данными литературы, где приводится открытая, выглядит более предпочтительной. Она способствует лучшим барьерным качествам буферного слоя. В качестве причин таких отличий – усовершенствованный состав прекурсора, исходящий из оксида, а не ацетилацетоната лантана, а также условия обработки, в частности использование стадии низкотемпературного окислительного отжига в атмосфере, содержащей озон. Среди других наблюдений принципиальными является наличие дополнительных слоев, образующихся между металлической подложкой и LZO. С помощью РСМА удалось определить и предположить их состав – это NiWO4 и NiO. Линейное сканирование РСМА вдоль гетероструктуры также позволило оценить глубину диффузии Ni в слой LZO. Она составляет не более 30 нм, что для 200 нм пленки свидетельствует о хороших барьерных свойствах полученного слоя.

Прикрепленные к НИР результаты

Для прикрепления результата сначала выберете тип результата (статьи, книги, ...). После чего введите несколько символов в поле поиска прикрепляемого результата, затем выберете один из предложенных и нажмите кнопку "Добавить".

Прикрепленные файлы

№ Имя Описание Имя файла Размер Добавлен
1. Otchet_2018.pdf Otchet_2018.pdf 561,7 КБ 17 декабря 2018 [Grigoriev]
2. Nauchnyij_otchet.pdf Nauchnyij_otchet.pdf 1,1 МБ 24 декабря 2016 [Grigoriev]
3. Otchet_2017.pdf Otchet_2017.pdf 1,5 МБ 29 декабря 2017 [Grigoriev]