|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ФНКЦ РР |
||
Контроль вакуумного ультрафиолетового излучения и параметров плазмы в реакторах нового поколения для наноэлектроники.НИР
The control of vacuum ultra-violet radiation and parameters of plasma in reactors of new generation for nanoelectronics
- Руководитель НИР: Ковалев А.С.
- Участники НИР: Васильева А.Н., Волошин Д.Г., Зырянов С.М., Курчиков К.А., Лопаев Д.В., Манкелевич Ю.А., Прошина О.В., Рахимова Т.В., Чукаловский А.А.
- Подразделение: Отдел микроэлектроники
- Срок исполнения: 1 января 2016 г. - 31 декабря 2018 г.
- Номер договора (контракта, соглашения): 16-02-00162
- Номер ЦИТИС: AAAA-A16-116030210040-8
- Тип: Фундаментальная
- Приоритетное направление научных исследований: Исследование наноструктур: физика, технологии, применение
- ПН России: Индустрия наносистем
-
Рубрики ГРНТИ:
- 29.27.03 Общие свойства плазмы
- 29.27.07 Элементарные процессы в плазме
- 29.27.43 Газовый разряд
- 29.27.47 Численные методы в физике плазмы
- 29.27.49 Диагностика плазмы
- 29.27.51 Применение плазмы
-
Ключевые слова:
высокочастотный разряд, неравновесная плазма, спектроскопия плазмы, электрический зонд
- Добавил в систему: Ковалев Александр Сергеевич
Источник финансирования НИР
| грант РФФИ |
Этапы НИР
| # | Сроки | Название |
| 1 | 1 января 2016 г.-31 декабря 2016 г. | Контроль вакуумного ультрафиолетового излучения и параметров плазмы в реакторах нового поколения для наноэлектроники. |
| Результаты этапа: | ||
| 2 | 1 января 2017 г.-31 декабря 2017 г. | Контроль вакуумного ультрафиолетового излучения и параметров плазмы в реакторах нового поколения для наноэлектроники. |
| Результаты этапа: | ||
| 3 | 1 января 2018 г.-31 декабря 2018 г. | Контроль вакуумного ультрафиолетового излучения и параметров плазмы в реакторах нового поколения для наноэлектроники. |
| Результаты этапа: | ||
Прикрепленные к НИР результаты
Для прикрепления результата сначала выберете тип результата (статьи, книги, ...). После чего введите несколько символов в поле поиска прикрепляемого результата, затем выберете один из предложенных и нажмите кнопку "Добавить".