|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ФНКЦ РР |
||
Отработка методик диагностики и проведение измерений характеристик плазмы геликонного разряда с оптимизацией параметров плазменных источников гибридной плазменной системыНИР
Testing of methods of diagnosis and measurement of helicon discharge characteristics with the optimization of the parameters of the plasma source of the plasma hybrid system
- Руководитель НИР: Кралькина Е.А.
- Ответственный исполнитель: Неклюдова П.А.
- Участники НИР: Павлов В.Б.
- Сторонняя организация: ОАО НИИТМ
- Срок исполнения: 27 апреля 2015 г. - 30 ноября 2016 г.
- Номер договора (контракта, соглашения): 53/15
- Тип: Фундаментальная
- Приоритетное направление научных исследований: другое
-
Рубрики ГРНТИ:
- 29.27.43 Газовый разряд
- 29.27.49 Диагностика плазмы
-
Ключевые слова:
ионный ток, потенциал пространства, магнетрон, осаждение покрытий, аргон, толщина пленки., спектральная линия, гибридная плазменная система, геликон, зонды ленгмюра, спектр
helicon, ion current, spectral line, coatings deposition, spectrum, argon, plasma potential, plasma hybrid system, film thickness, discharge, magnetron, langmuire probes - Добавил в систему: Кралькина Елена Александровна
Источник финансирования НИР
| Хоздоговор, Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития научно-технологического комплекса России на 2014-2020 годыю |
Этапы НИР
| # | Сроки | Название |
| 3 | 27 апреля 2015 г.-30 ноября 2016 г. | Отработка методик диагностики и проведение измерений характеристик плазмы геликонного разряда с оптимизацией параметров плазменных источников гибридной плазменной системы |
| Результаты этапа: | ||
Прикрепленные к НИР результаты
Для прикрепления результата сначала выберете тип результата (статьи, книги, ...). После чего введите несколько символов в поле поиска прикрепляемого результата, затем выберете один из предложенных и нажмите кнопку "Добавить".