ИСТИНА

Проект направлен на исследование процессов, определяющих временную эволюцию и кинетику отрицательных ионов совместно с кинетикой активных частиц, в импульсном разряде кислорода постоянного тока в трубке и импульсном вч разряде. Импульсная вч плазма пониженного давления в настоящее время позволяет осуществлять дополнительный контроль как потоков заряженных частиц, так и газофазной плазмохимии. Такой контроль является приоритетным направлением для бездефектного и селективного взаимодействия плазмы с поверхностью на атомарном уровне. В рамках проекта предполагается выполнение ряда новых фундаментальных задач. В экспериментальном плане связанных с применением современных методов диагностики импульсной плазмы, позволяющих с временным разрешением проводить измерения динамики плотности плазмы, отрицательных ионов и активных нейтральных частиц в плазме и ее послесвечении (лазерное фотоотлипание, совмещенное с импульсным микроволновым зондом и эмиссионная спектроскопия). В теоретическом плане связанных с разработкой кинетических и гидродинамических моделей для корректного анализа экспериментальных данных с целью детального исследования механизма влияния кинетики отрицательных ионов и активных нейтралов (атомов и метастабильных состояний О2) на режим разряда. Такой комплексный подход к исследованию кинетики отрицательных ионов в плазме кислорода имеет приоритетное значение. Данный проект предполагает фундаментальное исследование, но его результаты могут быть использованы в различных приложениях, использующих кислородную плазму.

The project is aimed at studying the processes that determine the time evolution and kinetics of negative ions, together with the kinetics of active particles, in a pulsed DC oxygen discharge in a tube and a pulsed RF discharge. At present, low-pressure pulsed rf plasma makes it possible to carry out additional control of both charged particle fluxes and gas-phase plasma chemistry. Such control is a priority for defect-free and selective interaction of plasma with the surface at the atomic level. Within the framework of the project, it is planned to fulfill a number of new fundamental tasks. Experimentally, these task are associated with the use of modern diagnostic methods for pulsed plasma, which allow time-resolved measurements of the dynamics of the plasma density, negative ions and active neutral particles in plasma and its afterglow (laser photodetachment combined with a pulsed microwave probe and emission spectroscopy). Also these are task, related to the development of kinetic and hydrodynamic models for the correct analysis of experimental data in order to study in detail the mechanism of influence of the kinetics of negative ions and active neutrals (atoms and metastable states of O2) on the discharge properties. Such an integrated approach to the study of the kinetics of negative ions in oxygen plasma is of priority importance. This project involves fundamental research, but its results can be used in various applications using oxygen plasma.