|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ФНКЦ РР |
||
Исследование механизмов сглаживания поверхности газовыми кластерными ионамиНИР
Mechanisms of surface smoothing under gas cluster irradiation
- Руководитель НИР: Иешкин А.Е.
- Участники НИР: Данилов А.В., Панин С.Е.
- Подразделение: Физический факультет
- Срок исполнения: 1 августа 2017 г. - 30 июня 2019 г.
- Номер договора (контракта, соглашения): 17-72-10224
- Тип: Фундаментальная
- Приоритетное направление научных исследований: Индустрия наносистем и материалов
- ПН России: Индустрия наносистем
- Направление технологического прорыва России: Стратегические информационные технологии
-
Рубрики ГРНТИ:
- 29.19.22 Физика наноструктур. Низкоразмерные структуры. Мезоскопические структуры
- 29.19.16 Физика тонких пленок. Поверхности и границы раздела
- 29.19.21 Влияние облучения на свойства твердых тел
-
Ключевые слова:
атомно-
силовая микроскопия, кластерные ионы, планаризация, асм, радиационные дефекты, распыление, спектроскопия рассеяния ионов средних энергий, срисэ, квантовые
вычисления, фотоника, спинтроника, наноэлектроника, нанорельеф
afm, quantum calculations, cluster ions, atomic-force microscopy, medium energy ion spectroscopy, radiation defects, smoothing, nanoelectronics, photonics, spintronics, meis, nanorelief - Добавил в систему: Иешкин Алексей Евгеньевич
Источник финансирования НИР
| грант РНФ |
Этапы НИР
| # | Сроки | Название |
| 1 | 1 августа 2017 г.-1 июля 2018 г. | Исследование механизмов сглаживания поверхности газовыми кластерными ионами |
| Результаты этапа: | ||
| 2 | 1 июля 2018 г.-30 июня 2019 г. | Исследование механизмов сглаживания поверхности газовыми кластерными ионами |
| Результаты этапа: | ||
Прикрепленные к НИР результаты
Для прикрепления результата сначала выберете тип результата (статьи, книги, ...). После чего введите несколько символов в поле поиска прикрепляемого результата, затем выберете один из предложенных и нажмите кнопку "Добавить".