|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ФНКЦ РР |
||
Разработка системы прерывания плазменной очистки (Endpoint detector) для установки осаждения слоев вольфрама методом CVDНИР
Development of an endpoint detector for tungsten deposition CVD reactor
- Руководитель НИР: Шибанов Д.Р.
- Ответственный исполнитель: Прошина О.В.
- Участники НИР: Глотов А.В., Лопаев Д.В.
- Подразделение: Лаборатория физики плазмы и физических основ микро-технологии
- Срок исполнения: 3 февраля 2025 г. - 15 ноября 2025 г.
- Номер договора (контракта, соглашения): 17705596339230002840/245-24
- Тип: Разработка
- Приоритетное направление научных исследований: Взаимодействие излучения с веществом
- Приоритеты и перспективы НТР Российской Федерации согласно Стратегии НТР РФ: переход к передовым цифровым, интеллектуальным технологиям
- ПН России: Индустрия наносистем
- Критическая технология России: Технологии создания электронной компонентной базы и энергоэффективных световых устройств
-
Рубрики ГРНТИ:
- 29.27.49 Диагностика плазмы
- 29.27.51 Применение плазмы
- 47.63.35 Индикаторные приборы
- Добавил в систему: Шибанов Даниил Романович
Источник финансирования НИР
| Хоздоговор, Изофаз-В-ТМ |
Этапы НИР
| # | Сроки | Название |
| 1 | 3 февраля 2025 г.-15 ноября 2025 г. | Разработка системы прерывания плазменной очистки (Endpoint detector) для установки осаждения слоев вольфрама методом CVD |
| Результаты этапа: | ||
Прикрепленные к НИР результаты
Для прикрепления результата сначала выберете тип результата (статьи, книги, ...). После чего введите несколько символов в поле поиска прикрепляемого результата, затем выберете один из предложенных и нажмите кнопку "Добавить".
Прикрепленные файлы
| № | Имя | Описание | Имя файла | Размер | Добавлен |
|---|