|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ФНКЦ РР |
||
Разработка методов контроля структурного совершенства КНС-УТК и пластин сапфира. Отработка режимов аморфизации слоя кремнияНИР
- Руководитель НИР: Черныш В.С.
- Участники НИР: Балакшин Ю.В., Ермаков Ю.А., Иешкин А.Е., Назаров А.В., Шемухин А.А.
- Подразделение: Отдел физики атомного ядра
- Срок исполнения: 16 января 2012 г. - 1 июня 2012 г.
- Номер договора (контракта, соглашения): 56-12 от «16» января 2012 г
- Тип: Прикладная
- Приоритетное направление научных исследований: другое
-
Рубрики ГРНТИ:
- 29.19.11 Дефекты кристаллической структуры
- 29.19.16 Физика тонких пленок. Поверхности и границы раздела
- 29.19.25 Взаимодействие проникающего излучения с твердыми телами
- 47.14.07 Проектирование и конструирование полупроводниковых приборов и приборов микроэлектроники
-
Ключевые слова:
аморфизция, кремний на сапфире, ионная имплантация
- Добавил в систему: Шемухин Андрей Александрович
Источник финансирования НИР
| Хоздоговор, Создание ультранкой пленки кремния на сапфире |
Этапы НИР
| # | Сроки | Название |
| 1 | 16 января 2012 г.-1 июня 2012 г. | Разработка методов контроля структурного совершенства КНС-УТК и пластин сапфира. Отработка режимов аморфизации слоя кремния |
| Результаты этапа: | ||
Прикрепленные к НИР результаты
Для прикрепления результата сначала выберете тип результата (статьи, книги, ...). После чего введите несколько символов в поле поиска прикрепляемого результата, затем выберете один из предложенных и нажмите кнопку "Добавить".