Разработка методики модификации структуры и свойств пленок аморфного гидрогенизированного кремния фемтосекундным лазерным облучением для фотовольтаических примененийНИР

Соисполнители НИР

ФТИ им. А.Ф. Иоффе Соисполнитель

Источник финансирования НИР

ФЦП: Федеральная целевая программа, Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития научно-технологического комплекса России на 2014—2020 годы

Этапы НИР

# Сроки Название
1 30 июня 2014 г.-31 декабря 2014 г. Анализ информационных данных, выбор технологических условий создания пленок аморфного гидрогенизированного кремния и определение допустимых интервалов параметров лазерного облучения, приводящих к модификации их структуры
Результаты этапа: На первом этапе работ по проекту выполнен аналитический обзор современной научно-технической литературы по методам модификации структуры поверхности пленок аморфного гидрогенизированного кремния с использованием лазерного облучения. Проведены патентные исследования. Изучены основные закономерности влияния параметров фемтосекундного лазерного облучения на изменение структуры пленок аморфного гидрогенизированного кремния и определены возможные механизмы структурной модификации аморфного гидрогенизированного кремния фемтосекундным лазерным излучением. Определены параметры фемтосекундного лазерного облучения, приводящего к абляции и кристаллизации пленок аморфного гидрогенизированного кремния. Изучено влияния дозы фемтосекундного лазерного облучения и толщины пленок аморфного гидрогенизированного кремния на процессы модификации их структуры при фемтосекундном лазерном облучении. Данные результаты полностью соответствуют требованиям Технического задания и Плана-графика исполнения обязательств.
2 1 января 2015 г.-30 июня 2015 г. Экспериментальные исследования процессов модификации структуры и физических свойств пленок нелегированного аморфного гидрогенизированного кремния при фемтосекундном лазерном облучении
Результаты этапа:
3 1 июля 2015 г.-31 декабря 2015 г. Экспериментальные исследования влияния легирования на процессы модификации структуры и изменение физических свойств пленок аморфного гидрогенизированного кремния, модифицированных фемтосекундным лазерным облучением
Результаты этапа:
4 1 января 2016 г.-30 июня 2016 г. Изготовление экспериментальных образцов гетероструктур аморфный гидрогенизированный кремний/наномодифицированный аморфный кремний и исследование их электрических и фотоэлектрических параметров
Результаты этапа:
5 1 июля 2016 г.-31 декабря 2016 г. Проведение сравнительных измерений фотовольтаических параметров гетероструктур аморфный гидрогенизированный кремний/наномодифицированный аморфный кремний, полученных фемтосекундной лазерной обработкой пленок аморфного гидрогенизированного кремния, и гетер
Результаты этапа:

Прикрепленные к НИР результаты

Для прикрепления результата сначала выберете тип результата (статьи, книги, ...). После чего введите несколько символов в поле поиска прикрепляемого результата, затем выберете один из предложенных и нажмите кнопку "Добавить".