Исследование взаимодействия ионов с поверхностью твердых телНИР

Источник финансирования НИР

госбюджет, раздел 0110 (для тем по госзаданию)

Этапы НИР

# Сроки Название
14 1 января 2014 г.-31 декабря 2014 г. Исследование взаимодействия ионов с поверхностью твердых тел
Результаты этапа: Впервые с помощью резерфордовского обратного рассеяния выполнено систематическое исследование угловых распределений вещества, распыленного из поликристаллов металлов (Cu, Mo, In, Cd и W) при облучении кластерными ионами аргона с энергией 10 кэВ. Установлено, что упругие свойства облучаемого материала оказывают существенное влияние на характер угловых распределений распыленных частиц. Для всех исследованных материалов наблюдалось заметное сглаживание рельефа поверхности после облучения кластерными ионами. Предложен новый механизм распыления кластерными ионами. Экспериментально и методом молекулярно-динамического моделирования исследована вторичная ионная эмиссия (ВИЭ) из ферромагнитного неупорядоченного соединения NiPd, облучаемого атомарными ионами аргона с энергией 10 кэВ. Обнаружено значительное уменьшение эмиссии ионов компонентов сплава при переходе из ферро- в парамагнитное состояние.
15 1 января 2015 г.-31 декабря 2015 г. Исследование взаимодействия ионов с поверхностью твердых тел
Результаты этапа: 1. Исследовано сглаживание рельефа поверхности сапфира и ситала под действием облучения материалов ускоренными газовыми кластерными ионами. Установлено, что под действием ионного облучения шероховатость поверхности материалов уменьшается до 0,35 нм. 2. Впервые экспериментально и МД моделированием исследованы пространственные распределения частиц, распыленных из монокристалла сапфира с тетрагональной решеткой (α-Al2O3) атомарными ионами аргона. Показано, что выход распыленных атомов Al и О происходит в основном по сторонам неправильного шестиугольника с пятнами на его вершинах за счет процессов каналирования и фокусировки. Обнаружен новый вид сложной фокусировки частиц при ионной бомбардировке сапфира неправильными рядами атомов Al и О в трех параллельных плоскостях. С помощью энерго-дисперсионной рентгеновской спектроскопии установлено, что при распылении сапфира эмитируют не только атомарные частицы Al и O, но и молекулярные комплексы. Изучена вторичная электронная эмиссия монокристалла сапфира (α-Al2O3) до и после его облучения ионами. Установлено существенное изменение кинетики процесса электронной зарядки сапфира и выхода вторичных ионов в результате ионной бомбардировки, что объяснено формированием островков Al, конусообразного рельефа и специфического двойного слоя заряда на поверхности диэлектрика.

Прикрепленные к НИР результаты

Для прикрепления результата сначала выберете тип результата (статьи, книги, ...). После чего введите несколько символов в поле поиска прикрепляемого результата, затем выберете один из предложенных и нажмите кнопку "Добавить".