ИСТИНА

Объектом исследования являются теоретические основы описания взаимодействия рентгеновского излучения с шероховатой поверхностью. Цель работы — разработка методики контроля параметров шероховатости плоских поверхностей с использованием методов рентгеновской рефлектометрии. Задачи, решение которых обеспечивает достижение поставленных целей 1 Анализ современных методов контроля параметров шероховатости плоских поверхностей по результатам открытых источников. 2 Разработка методов проведения эксперимента и программного обеспечения обработки его результатов для анализа шероховатости плоских поверхностей. 3 Разработка метода количественного сопоставления данных рентгеновского рассеяния с результатами атомно-силовых измерений.

В ходе выполнения СЧ НИР были проведены проектно-поисковые исследования в обеспечение разработки методов контроля шероховатости зеркальных поверхностей оптических средств УФ-диапазона с применением рентгеновской рефлектометрии и решены следующие задачи: 1) Проведен анализ современных методов контроля параметров шероховатости плоских поверхностей по результатам открытых источников. Рассмотрены преимущества и недостатки следующих теоретических подходов к описанию взаимодействия рентгеновского излучения с шероховатой поверхностью: борновское приближение искаженных волн, приближение Синха и теория возмущений по высоте шероховатостей. Обоснован выбор последней для описания экспериментальных результатов. 2) Разработаны методы проведения эксперимента и программное обеспечения обработки его результатов для анализа шероховатости плоских поверхностей. С использованием выражений, полученных в рамках теории возмущений для случая изолированных поверхностей, проведен анализ факторов, определяющих точность эксперимента, выбраны такие условия, при которых ошибка получаемых экспериментальных данных не превосходит 10% во всем интервале измерений 3) Разработан метод количественного сопоставления данных рентгеновского рассеяния с результатами атомно-силовых измерений. Метод основан на расчете PSD-функций по данным обеих методик и анализе этих функций в общем для них диапазоне пространственных частот: от 0,05 мкм-1 до 5-10 мкм-1. Методически и экспериментально реализован рентгеновский метод контроля шероховатости сверхгладких поверхностей (среднеквадратичная высота шероховатости, которых не превосходит 1 нм), основанный на анализе угловой зависимости рассеянного излучения.