| 1 |
1 января 2014 г.-31 декабря 2014 г. |
Осаждение планаризующих оксидных покрытий из растворов металл-органических прекурсоров и установление закономерностей "состав - условия синтеза-структура — свойства |
| Результаты этапа: Итогом работы стала разработка фундаментальных основ к осаждению планаризующих оксидных покрытий и их МОП. Получены такие результаты как:
- выявлена взаимосвязь между составом МОП и качеством пленок оксида иттрия.
- предложены новые эффективные прекурсоры для осаждения гладких оксидных пленок иттрия.
- подобраны оптимальные технологические условия для осаждения оксидных пленок, не содержащих углерода и обладающих низкой шероховатостью.
- получены оксидные материалы с заданными характеристиками, которые в дальнейшем смогут выступать как эффективные носители.
- впервые изучено влияние активирующей атмосферы отжига на химический состав (присутствие/отсутствие) углерода, микроструктуру и морфологию пленок.
- установлены корреляции между составом МОП - условиями осаждения - качеством оксидных пленок.
-подготовлены к печати публикации |
| 2 |
1 января 2015 г.-31 декабря 2015 г. |
Осаждение планаризующих оксидных покрытий из растворов металл-органических прекурсоров и установление закономерностей "состав - условия синтеза-структура — свойства |
| Результаты этапа: Итогом работы стала разработка фундаментальных основ к осаждению планаризующих оксидных покрытий и их МОП. Получены такие результаты как:
- выявлена взаимосвязь между составом МОП и качеством пленок оксида иттрия, церия и алюминия.
- предложены новые эффективные прекурсоры для осаждения гладких тонких пленок Y2O3, CeO2, Al2O3.
- подобраны оптимальные технологические условия для осаждения оксидных пленок, не содержащих углерода и обладающих низкой шероховатостью.
- получены оксидные материалы с заданными характеристиками, которые в дальнейшем смогут выступать как эффективные носители.
- впервые изучено влияние активирующей атмосферы отжига на химический состав (присутствие/отсутствие) углерода, микроструктуру и морфологию пленок.
- установлены корреляции между составом МОП - условиями осаждения - качеством оксидных пленок.
-подготовлены к печати публикации |
