Новые подходы к сглаживанию длинномерных металлических подложек: химическое осаждение гладких покрытий оксида алюминия из растворов металл-органических прекурсоровНИР

New approaches to planarization of metallic tapes: chemical deposition of alumina layers

Источник финансирования НИР

грант РФФИ

Этапы НИР

# Сроки Название
1 1 января 2014 г.-31 декабря 2014 г. Новые подходы к сглаживанию длинномерных металлических подложек: химическое осаждение гладких покрытий оксида алюминия из растворов металл-органических прекурсоров
Результаты этапа: Проект направлен на развитие научных основ метода химического сглаживания шероховатых подложек – длинномерных поликристаллических лент на основе никелевых сплавов или нержавеющей стали путем осаждения гладкого (планаризующего) оксидного слоя из раствора металл-органических прекурсоров (метод SDP, Solution Deposition Planarization). Научная цель проекта состоит в разработке метода планаризации (сглаживания) шероховатых подложек покрытиями на основе аморфного или нанокристаллического оксида алюминия. Конкретной практической задачей проекта является получение методом SDP аморфных (нанокристаллических) слоев оксида алюминия (чистого, а также легированного) со среднеквадратичной шероховатостью не выше 1нм (измеряемой на площади 5х5 мкм2), обеспечивающих последующее осаждение текстурированных буферных слоев во вспомогательном ионном пучке (метод IBAD, Ion Beam Assisted Deposition), а также обладающих высокой адгезией и низкой диффузионной проницаемостью. Оригинальность и новизна поставленной задачи обусловлена, прежде всего, выбором оксида алюминия в качестве материала планаризующего слоя, уникальные физические и химические свойства которого обеспечат этим гладким слоям различные применения, чему будет способствовать и невысокая цена, как самого материала, так и способа получения гладких покрытий.
2 1 января 2015 г.-31 декабря 2015 г. Новые подходы к сглаживанию длинномерных металлических подложек: химическое осаждение гладких покрытий оксида алюминия из растворов металл-органических прекурсоров
Результаты этапа: 1. Для создания новых МОП предложен оригинальный подход к синтезу карбоксилатов алюминия, где в качестве основного реагента используются соответствующие карбоксилаты моноэтаноламмония как единый источник карбоксилат ионов и моноэтаноламина (МЕА). Синтезированы и охарактеризованы оксокарбоксилаты алюминия, производные пивалевой, н-валериановой и изо-валериановой кислот. На основе полученных карбоксилатов (оксовалериатов, лактатов) и диэтилентриамина (DETA) синтезированы растворы новых МОП. Синтезирована и охарактеризована серия растворов МОП состава Al(iPrO)3 - n HAcet – m Q в i-PrOH and Al(acac)3 – mQ в уксусной кислоте (Hacet), где Q =MEA, DETA. Разработана методика синтеза карбоксилатов магния. 2. Новые прекурсоры успешно протестированы в экспериментах по осаждению сглаживающих слоев оксида алюминия. Новые МОП на основе оксоацетата алюминия и МЕА или DETA продемонстрировали очень высокую эффективность сглаживания поверхности металлической ленты (в 4 - 6 раз). 3. В экспериментах по осаждению сглаживающих слоев оксида алюминия продемонстрирована роль озона при отжиге прекурсорной пленки до оксида. Введение озонированного газового потока в зону отжига позволяет активизировать разложение МОП до оксида и способствует удалению с оксидного покрытия остаточного углерода, присутствие которого нежелательно. 4. активирующая роль добавления озона в атмосферу зоны, в которой происходит формирование сглаживающего оксидного слоя. 5. Образец металлической ленты Hastelloy C276 (12мм ширина, 20м длина) был покрыт сглаживающим слоем оксида алюминия при использовании прекурсора {Al(iPrO)3 +2.5MEA+6 HAcet +iPrOH} и использован в стандартной ВТСП гетероструктуре (SuperOx Japan). Полученный сверхпроводящий материал продемонстрировал высокое значение критического тока (300 A), что соответствует требованиям к таким материалам и свидетельствует об эффективности предложенного способа сглаживания металлических подложек.
3 1 января 2016 г.-31 декабря 2016 г. Новые подходы к сглаживанию длинномерных металлических подложек: химическое осаждение гладких покрытий оксида алюминия из растворов металл-органических прекурсоров
Результаты этапа: Разработан новый метод сглаживания металлических подложек, основанный на сочетании приемов разнолигандного комплексообразования и гидролиза. Эффект сглаживания достигается осаждением планаризующих слоев аморфного оксида алюминия.

Прикрепленные к НИР результаты

Для прикрепления результата сначала выберете тип результата (статьи, книги, ...). После чего введите несколько символов в поле поиска прикрепляемого результата, затем выберете один из предложенных и нажмите кнопку "Добавить".