Выберите категорию обращения:
Общие вопросы
Отчеты
Рейтинги
Мониторинговый отчёт
Диссертационные советы
Конкурсы
Ввод данных
Структура организаций
Аспирантура
Научное оборудование
Импорт педагогической нагрузки
Журналы и импакт-факторы
Тема обращения:
Описание проблемы:
Введите почтовый адрес:
ИСТИНА
Войти в систему
Регистрация
ФНКЦ РР
Главная
Поиск
Статистика
О проекте
Помощь
МОДИФИКАЦИЯ СВОЙСТВ ITO ПЛЁНОК ИОННО-ЛУЧЕВОЙ ОБРАБОТКОЙ ПРИ РЕАКТИВНОМ ВЧ МАГНЕТРОННОМ НАПЫЛЕНИИ
статья
Авторы:
Ветошкин В.М.
,
Крылов П.Н.
, Федотова И.В.,
Закирова Р.М.
Сборник:
Труды XXIV Международной конференции "Радиационная физика твёрдого тела"(Севастополь, 7-12 июля 2014г.)под редакцией заслуженного деятеля науки РФ, д.ф-м.н.,проф. Бондаренко Г.Г
Серия:
Радиационная физика твёрдого тела
Год издания:
2014
Место издания:
ФГБНУ "НИИ ПМТ" Москва
Первая страница:
426
Последняя страница:
432
Добавил в систему:
Ветошкин Владимир Михайлович