|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ФНКЦ РР |
||
Особенности гистерезиса вольт-амперных характеристик многослойных пленок с нанокристаллами кремниястатья
- Авторы: Шулейко Д.В., Заботнов С.В., Жигунов Д.М., Короленко П.В., Кашкаров П.К.
- Журнал: Научное обозрение
- Номер: 10
- Год издания: 2015
- Первая страница: 200
- Последняя страница: 208
- Аннотация: Проведены измерения и анализ вольт-амперных характеристик многослойных пленок толщиной от 1.5 до 5 нм на основе оксида и нитрида кремния, изготовленных методом плазмохимического осаждения из газовой фазы. Путем отжига при температуре 1150°С обедненных кислородом слоев SiOx и SiNx (x < 1) в них были сформированы нанокристаллы кремния, наличие которых обусловило гистерезисный характер наблюдаемых вольт-амперных характеристик. В структурах на основе чередующихся слоев оксида кремния с нанокристаллами и нитрида кремния был зарегистрирован симметричный гистерезис вольт-амперной характеристики в окрестности нуля, который может быть объяснен емкостными и резистивными параметрами таких слоев. В образце, состоящем из чередующихся слоев нитрида кремния с нанокристаллами и без, был обнаружен эффект скачкообразного переключения по проводимости до двух порядков (мемристивный эффект) при прикладываемом напряжении ~ 6 В. Наиболее вероятный механизм такого переключения связан с захватом электронов на дискретные уровни в нанокристаллах кремния с последующим туннелированием между данными состояниями.
- Добавил в систему: Заботнов Станислав Васильевич
Прикрепленные файлы
| № | Имя | Описание | Имя файла | Размер | Добавлен |
|---|---|---|---|---|---|
| 1. | Полный текст | Nauchnoe_obozrenie_Shulejko_2015.pdf | 283,4 КБ | 15 июня 2016 [zabotnov] | |
| 2. | Zhurnal_nauchnoe_obozrenie.pdf | Zhurnal_nauchnoe_obozrenie.pdf | 9,3 МБ | 3 марта 2022 [korolenko] |