|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ФНКЦ РР |
||
Analysis of an effect of perturbations in SWHM and illuminating optical scheme parameters on an aerial imageстатья
Информация о цитировании статьи получена из
Web of Science,
Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 17 ноября 2015 г.
- Авторы: Borisov M.V., Chelyubeev D.A., Chernik V.V., Gavrikov A.A., Knyazkov D.Yu, Mikheev P.A., Rakhovskiy V.I., Shamaev A.S.
- Сборник: Proc. of Advanced Semiconductor Manufacturing Conference 2012, IEEE Conference Publications
- Год издания: 2012
- Первая страница: 165
- Последняя страница: 169
- DOI: 10.1109/ASMC.2012.6212903
- Добавил в систему: Шамаев Алексей Станиславович