|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ФНКЦ РР |
||
Электронная литография и анизотропное плазмохимическое травление кремниевых FIN-структур для FINFET и SiNW транзисторов с размерами 11-22 нмстатья
- Авторы: Мяконьких А.В., Татаринцев А.А., Руденко К.В.
- Сборник: Труды ФТИАН
- Том: 28
- Год издания: 2018
- Издательство: ФГБУ "Издательство "Наука"
- Местоположение издательства: Москва
- Первая страница: 59
- Последняя страница: 65
- Добавил в систему: Татаринцев Андрей Андреевич