|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ФНКЦ РР |
||
Влияние высокотемпературного отжига в потоке водорода на свойства пленок a-Si:Hтезисы доклада
- Авторы: Курова И.А., Нальгиева М.А., Ормонт Н.Н.
- Сборник: Тезисы лекций и докладов III Российской школы ученых и молодых специалистов по физике, материаловедению и технологии получения кремния и приборных структур на его основе («Кремний. Школа-2005»)
- Тезисы
- Год издания: 2005
- Место издания: Государственный технологический университет "Московский институт стали и сплавов" (МИСиС) Москва
- Первая страница: 114
- Последняя страница: 115
- Аннотация: На основе проведенных исследований установлено, что как в легированных, так и в нелегированных отожженных пленках при низких температурах наблюдается прыжковая проводимость с переменной длиной прыжка по состояниям оборванных связей вблизи уровня Ферми. При высокой температуре в этих пленках наблюдается зонная проводимость. Однако положение уровня Ферми в нелегированной отожженной пленке осталось неизменным, в то время как в легированной пленке уровень Ферми сместился к валентной зоне. Кроме того в легированной пленке в области промежуточных температур наблюдается прыжковая проводимость по состояниям хвоста валентной зоны. Появление этой проводимости в отожженной легированной пленке обусловлено возрастанием концентрации электрически активных атомов бора после высокотемпературного отжига и существенным смещением уровня Ферми к валентной зоне. Знание параметров энергии активации этой проводимости и положения уровня Ферми в этой пленке позволило нам определить ширину плотности состояний с неэкспоненциальным спадом в хвосте валентной зоны.
- Добавил в систему: Ормонт Наталия Николаевна