Выберите категорию обращения:
Общие вопросы
Отчеты
Рейтинги
Мониторинговый отчёт
Диссертационные советы
Конкурсы
Ввод данных
Структура организаций
Аспирантура
Научное оборудование
Импорт педагогической нагрузки
Журналы и импакт-факторы
Тема обращения:
Описание проблемы:
Введите почтовый адрес:
ИСТИНА
Войти в систему
Регистрация
ФНКЦ РР
Главная
Поиск
Статистика
О проекте
Помощь
Влияние барьерного слоя TiNx на определение структурных характеристик диэлектрических и проводящих слоев кристаллов интегральных схем
статья
Авторы:
Соколов С.А.
,
Милованов Р.А.
,
Сидоров Л.Н.
, Шишкин В.И.
Журнал:
Наноматериалы и наноструктуры - XXI век
Том:
9
Номер:
2
Год издания:
2018
Первая страница:
43
Последняя страница:
48
Добавил в систему:
Соколов Сергей Александрович
Прикрепленные файлы
№
Имя
Описание
Имя файла
Размер
Добавлен