|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ФНКЦ РР |
||
Метод GISAXS в исследовании неоднородностей в многослойной структуре на примере образца Al2O3/Cr(70Å)/[Fe(8Å)/Cr(10.5Å)]30/Cr(12Å)тезисы доклада
- Авторы: Рагульская А.В., Андреева М.А., Баулин Р.А., Рогачёв А.В., Якунин С.Н.
- Сборник: Рентгеновская оптика 2018, сборник докладов конференции
- Тезисы
- Год издания: 2018
- Место издания: Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук г. Черноголовка
- Первая страница: 56
- Последняя страница: 58
- Добавил в систему: Баулин Роман Алексеевич
Прикрепленные файлы
| № | Имя | Описание | Имя файла | Размер | Добавлен |
|---|---|---|---|---|---|
| 1. | Полный текст | Andreeva_xray2018.pdf | 577,7 КБ | 2 октября 2018 [RomanBaulin] |