|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ФНКЦ РР |
||
Контраст и пространственное разрешение фазовых и фазово-растровых масокстатья Краткое сообщение
- Авторы: Белокопытов Г.В., Короткова Ю.В.
- Сборник: Труды VII Международной конференции «Прикладная оптика-2006»
- Том: 3
- Год издания: 2006
- Место издания: Санкт-Петербург
- Первая страница: 29
- Последняя страница: 33
- Аннотация: Представлены результаты численного моделирования формирования изображения фазовых и фазово-растровых масок для фотолитографии и голографии. Проведено исследование характеристик контраста и критических размеров оптического изображения в зависимости от величины численной апертуры и параметра когерентности.
- Добавил в систему: Рыжикова Юлия Владимировна