|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ФНКЦ РР |
||
Стабильность изображения прямоугольных фазовых масок в оптической литографиистатья
- Авторы: Белокопытов Г.В., Рыжикова Ю.В.
- Сборник: Труды IX Международной конференции «Прикладная оптика-2010»
- Том: 2
- Год издания: 2010
- Место издания: Санкт-Петербург Санкт-Петербург
- Первая страница: 300
- Последняя страница: 304
- Добавил в систему: Рыжикова Юлия Владимировна