|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ФНКЦ РР |
||
Experimental and computational thickness determination of ultra-thin surface films using backscattered electrons spectra in SEMтезисы доклада
- Авторы: Kupreenko S., Orlikovsky N., Rau E., Tagachenkov A., Tatarintsev A.
- Сборник: International Conference "Micro- and Nanoelectronics - 2014". Book of abstracts
- Тезисы
- Год издания: 2014
- Место издания: Moscow-Zvenigorod, Russia
- Первая страница: P1-30
- Последняя страница: P1-30
- Добавил в систему: Купреенко Степан Юрьевич
Прикрепленные файлы
| № | Имя | Описание | Имя файла | Размер | Добавлен |
|---|---|---|---|---|---|
| 1. | Rau_E._ICMNE2014.docx | Rau_E._ICMNE2014.docx | 205,4 КБ | 6 сентября 2016 [KupreenkoSU] |