|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ФНКЦ РР |
||
Loss of Hydrogen Atoms in H-2 Plasma on the Surfaces of Materials Used in EUV Lithographyстатья
Информация о цитировании статьи получена из
Web of Science,
Scopus
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 18 июля 2013 г.
- Авторы: Zyryanov S.M., Kovalev A.S., Lopaev D.V., Malykhin E.M., Rakhimov A.T., Rakhimova T.V., Koshelev K.N., Krivtsun V.M.
- Журнал: Plasma Physics Reports
- Том: 37
- Номер: 10
- Год издания: 2011
- Издательство: Maik Nauka/Interperiodica Publishing
- Местоположение издательства: Russian Federation
- Первая страница: 881
- Последняя страница: 889
- DOI: 10.1134/S1063780X11090157
- Добавил в систему: Рахимов Александр Турсунович