|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ФНКЦ РР |
||
Моделирование электрохимического формообразования микрообъектов с использованием диэлектрических масокстатья Исследовательская статья
- Авторы: Волгин В.М., Сальников В.С., Шадский Г.В., Кабанова Т.Б., Давыдов А.Д.
- Сборник: Труды Всероссийской научно-технической конференции «Высокие, критические электро- и нанотехнологии-2013"
- Год издания: 2013
- Место издания: г. Тула
- Первая страница: 22
- Последняя страница: 40
- Аннотация: Проведено теоретическое исследование электрохимического формообразования микрообъектов при частичной изоляции обрабатываемой поверхности посредством диэлектрической маски. В качестве математической модели процесса использованы уравнение Лапласа для потенциала электрического поля и уравнение эволюции обрабатываемой поверхности. Для численного решения задачи использовались методы конечных и граничных элементов, а также метод “Level Set”. В результате проведения вычислительных экспериментов исследовано влияние параметров, характеризующих геометрию маски и условия проведения процесса, на начальное распределение плотности тока по поверхности заготовки. В частности, были получены зависимости безразмерной средней плотности тока от доли площади пробельных участков при различных значениях толщины маски и различных значениях ширины пробельного участка, имеющего формы прямолинейного паза или круга. Показано, что начальная средняя плотность тока уменьшается при увеличении доли поверхности анода, не покрытой маской, увеличении толщины маски и увеличении ширины пробельного участка. Показано, что в процессе обработки начальная неравномерность средней плотности тока может изменяться, что ведет к изменению соотношения скоростей анодного растворения пробельных участков различной ширины: в начальный период обработки скорость анодного растворения металла тем выше, чем меньше ширина пробельного участка, однако в процессе обработки скорость анодного растворения на узких пробельных участках быстро уменьшается и может стать меньше, чем на пробельных участках большей ширины. Полученные результаты позволяют прогнозировать изменение в процессе обработки неравномерности глубины сформированных элементов на поверхности обрабатываемой заготовки.
- Добавил в систему: Кабанова Татьяна Борисовна