|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ФНКЦ РР |
||
Имплантация малых кластеров алюминия в монокристаллический кремнийтезисы доклада
- Авторы: Zeng X.M., Данилов А.В., Пеленович В.О., Иешкин А.Е., Fu D.J.
- Сборник: Физические и физико-химические основы ионной имплантации: Тезисы докладов VII Всероссийской конференции молодых ученых и специалистов (Нижний Новгород, 7-9 ноября 2018 г.)
- Тезисы
- Год издания: 2018
- Место издания: Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского Н. Новгород
- Первая страница: 133
- Последняя страница: 133
- Добавил в систему: Иешкин Алексей Евгеньевич