Корреляция ошибок при напылении оптических покрытий с широкополосным оптическим контролем

Тихонравов, А.В.; Кочиков, И.В.; Матвиенко, И.А.; Исаев, Т.Ф.; Лукьяненко, Д.В.; Шарапова, С.А.; Ягола, А.Г.

Авторы: Тихонравов А.В., Кочиков И.В., Матвиенко И.А., Исаев Т.Ф., Лукьяненко Д.В., Шарапова С.А., Ягола А.Г.
Журнал: Вычислительные методы и программирование
Том: 19
Год издания: 2018
Издательство: Научно-исследовательский вычислительный центр Московского государственного университета им. М.В. Ломоносова
Местоположение издательства: Москва
Первая страница: 439
Последняя страница: 448
DOI: 10.26089/NumMet.v19r439
Аннотация: Предложены оценки, которые могут использоваться для предсказания степени ожидаемого эф- фекта корреляции ошибок в определении толщин слоев при изготовлении оптических покры- тий с использованием широкополосного оптического контроля процесса напыления. Численное определение этих оценок требует проведения статистического анализа, для чего реализован эффективный вычислительный алгоритм моделирования ошибок толщин слоев, который обес- печивает, с одной стороны, случайный характер ошибок, но в то же время адекватно отражает корреляцию ошибок восстановления толщин, вносимую применяемым способом контроля на- пыления слоев. Показано, что ожидаемая степень проявления корреляции ошибок оценивается случайной величиной, распределение которой близко к логнормальному распределению, а в качестве параметров, характеризующих исследуемый эффект, могут быть взяты два основных параметра этого распределения.
Добавил в систему: Тихонравов Александр Владимирович

	ИСТИНА	Войти в систему Регистрация
	ФНКЦ РР
	Главная Поиск Статистика О проекте Помощь

ИСТИНА

ФНКЦ РР

Корреляция ошибок при напылении оптических покрытий с широкополосным оптическим контролемстатья

Прикрепленные файлы