|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ФНКЦ РР |
||
Оптическая литография без маски (обзор)статья Электронная публикация
- Авторы: Белокопытов Г.В., Рыжикова Ю.В.
- Сборник: Труды научной конф.: XII Всероссийской школы- семинара «Волновые явления в неоднородных средах»
- Серия: Секция 8. Электродинамика и электроника
- Год издания: 2010
- Первая страница: 7
- Последняя страница: 10
- Аннотация: В обзоре анализируются современные фотолитографические системы без использования фотошаблонов. Приводятся их основные технические характеристики, а также факторы, ограничивающие пространственное разрешение и быстродействие. Выделяются перспективные направления развития.
- Добавил в систему: Белокопытов Геннадий Васильевич