Место издания:Москва, Троицк, Октябрьский проспект, д. 12
Первая страница:171
Последняя страница:173
Аннотация:Представлены результаты проведенного комплексного исследования покрытий, полученных
методом магнетронного распыления титана в атмосфере ацетилена и азота. Установлено, что изученные покрытия представляют собой различные комбинации стехиометрических и нестехиометрических фаз оксидов и нитридов титана.Показано, что нанотвердость
исследованный покрытий составляет от 10 до 20 ГПа и немонотонно меняется с изменением
состава использовавшейся при нанесении покрытий смеси реакционных газов.Результаты трибологических исследований покрытий показали, что величина коэффициента
трения в покрытиях составляет величину 0.2÷0.3 и слабо зависит от нагрузки на контртело. Все покрытия сохраняют работоспособность во всем диапазоне нагрузок, используемых при испытаниях на
фрикционную усталость на шариковом трибометре в течение всего цикла испытаний (N > 6000
циклов). Трибологические характеристики покрытий оказались существенно выше, чем у
материала стальной подложки, на которую были нанесены покрытия, особенно при контактных
давлениях выше 300 МПа.