Оценка механических напряжений в соединенных при повышенной температуре кремнии и стекле

Синев, Л.С.

Автор: Синев Леонид Станиславович
Журнал: Наука и образование (МГТУ им. Н.Э. Баумана) (электронный журнал)
Номер: 12
Год издания: 2014
Первая страница: 951
Последняя страница: 965
DOI: 10.7463/1214.0745310
Аннотация: В статье рассматриваются механические напряжения, вызванные разницей коэффициентов теплового расширения, в электростатически соединённых стекле и кремнии. Для оценки возможностей по снижению таких механических напряжений в работе использовали две модели представления сборки: два тонких соединённых слоя и многослойный композиционный материал. Исходя из свойств двух марок соединяемых стёкол (ЛК5, Borofloat 33) и кремния, на основании описанных моделей рассчитаны значения коэффициентных напряжений при температуре $T_w$ в деталях, соединённых при нескольких разных фиксированных температурах $T_b$. Показано наличие зависимости коэффициентных напряжений на поверхности кремния от соотношения толщин соединённых кремния и стела. Приведены способы применения моделей оценки для оптимизации режима проведения электростатического соединения пластин кремния и стекла с целью минимизации влияния коэффициентных напряжений в диапазоне рабочих температур получаемого прибора.
Добавил в систему: Синев Леонид Станиславович

	ИСТИНА	Войти в систему Регистрация
	ФНКЦ РР
	Главная Поиск Статистика О проекте Помощь

ИСТИНА

ФНКЦ РР

Оценка механических напряжений в соединенных при повышенной температуре кремнии и стеклестатья

Прикрепленные файлы