Аннотация:Представлены результаты комплексного исследование влияния фазового состава и особенностей
микроструктуры на механические и трибологические свойства титановых покрытий, полученных
методом реактивного магнетронного распыления в атмосфере ацетилена и азота. Установлено, что
все изученные покрытия содержат аморфный углерод, а в их фазовом составе представлены различные типы стехиометрических и нестехиометрических карбидных, нитридных и оксидных фаз
титана. Полученные покрытия имеют низкий коэффициент трения и сохраняют свою работоспособность при контактных давлениях до 450 МПа в продолжение всего цикла испытаний на фрикционную усталость (база испытаний — 6000 циклов).