Experimental Investigation of Nonlocality Effects in the Electron Energy Spectrum in an Electronegative Gasстатья
Информация о цитировании статьи получена из
Scopus,
Web of Science
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 31 декабря 2013 г.
Аннотация:The nonlocality of the electron energy distribution function (EEDF) in a dc discharge in oxygen is observed experimentally. A method is developed for measuring the isotropic part of the EEDF in a low-temperature plasma of electronegative gases. The radial dependence of the EEDF and the radial distributions of the electron density, the average electron energy, and the potential are determined.