|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ФНКЦ РР |
||
Исследование индуктивного ВЧ разряда, как самосогласованной системы. II. Исследование параметров плазмы и эффективности поглощения ВЧ мощности плазмой индуктивного ВЧ разряда низкого давлениястатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАКСтатья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 24 января 2020 г.
- Авторы: Александров А.Ф., Бугров Г.Э., Вавилин К.В., Керимова И.Ф., Кралькина Е.А., Павлов В.Б., Плаксин В.Ю., Рухадзе А.А.
- Журнал: Прикладная физика
- Номер: 5
- Год издания: 2005
- Издательство: [б.и.]
- Местоположение издательства: М.
- Первая страница: 72
- Последняя страница: 78
- Добавил в систему: Кралькина Елена Александровна