|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ФНКЦ РР |
||
Изучение закономерностей энерговклада в гибридный ВЧ-разряд низкого давлениястатья
- Авторы: Вавилин К.В., Гоморев М.А., Кралькина Е.А., Неклюдова П.А., Павлов В.Б., Чжао Ч.
- Журнал: Вестник Казанского технологического университета
- Том: 14
- Номер: 13
- Год издания: 2011
- Первая страница: 7
- Последняя страница: 11
- Аннотация: В настоящей работе экспериментально изучаются закономерности энерговклада в плазму гибридного ВЧ-разряда с узлом ввода ВЧ-мощности в виде параллельно соединенных спиральной антенны и обкладок конденсатора. Показано, что при малых значениях мощности ВЧ-генератора ВЧ-мощность поступает в гибридный разряд главным образом через емкостной канал, затем по мере роста мощности ВЧ-генератора роль индуктивного канала возрастает. Вклад индуктивного канала тем больше, чем меньше величина разделительной емкости, включенного в емкостную цепь разряда.
- Добавил в систему: Неклюдова Полина Алексеевна