|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ФНКЦ РР |
||
Advanced Ion and Plasma Sources for Materials Surface Engineeringтезисы доклада
- Авторы: Alexandrov A.F., Kralkina E.A., Nekludova P.A., Pavlov V.B., Petrov A.K., Vavilin K.V.
- Сборник: Proceedings of the International Conference Nanomaterials: Application and Properties (Proc. NAP 1)
- Том: 1
- Тезисы
- Год издания: 2012
- Первая страница: 9
- Последняя страница: 9
- Аннотация: The paper presents the results of the authors many year work in the field of ion&plasma sources development. The families of DC and RF ion and plasma sources are described. The results of ion&plasma sources utilization in materials surface modification technologies are discussed.
- Добавил в систему: Неклюдова Полина Алексеевна