|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ФНКЦ РР |
||
Изменение отражательной способности зеркал Мо(111) после экспозиции в D2-N2 плазместатья
- Авторы: Городецкий А.Е., Буховец В.Л., Маркин А.В., Залавутдинов Р.Х., Войтицкий В.Л., Захаров А.П., Золотаревский В.И., Рыбкина Т.В., Архипушкин И.А., Казанский Л.П.
- Сборник: Институт физической химии и электрохимии им. А.Н.Фрумкина РАН - 90 лет. Сборник научных трудов
- Серия: ИФХЭ – 90 лет
- Год издания: 2019
- Место издания: ИФХЭ РАН Москва
- Первая страница: 120
- Последняя страница: 121
- Аннотация: Исследовано влияние D2-N2 плазмы тлеющего разряда на отражательную способность монокристаллических зеркал Мо(111). Поверхность каждого зеркала готовилась механической полировкой алмазными пастами до шероховатости hq = 5 нм. Экспозиция до флюенса ионов 1.4x1024 м-2 приводила к увеличению hq = 9 нм.Коэффициент полного отражения Rt в области 4001000 нм увеличивался на 5-10%, что может быть вызвано преимущественным удалением углерода в процессе ионного распыления. Effect of D2-N2 plasma on reflectivity of Mo(111) mirrors was studied. The mirror surface was prepared by mechanical polishing with diamond paste that provided the roughness parameter hq about 5 nm. Plasma exposure up to a fluence of 1.4x1024 ion m-2 increases hq to 9 nm. The total reflectance in the range 400–1000 nm increases by 5-10% that might be explained by preferential removal of carbon impurities under ion sputtering.
- Добавил в систему: Буховец Валентин Леонидович