|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ФНКЦ РР |
||
МОЛЕКУЛЯРНО-ДИНАМИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ НАПЫЛЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК, СОСТОЯЩИХ ИЗ СЛОЕВ С ЧЕРЕДУЮЩЕЙСЯ ПЛОТНОСТЬЮстатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАКСтатья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 10 июня 2020 г.
- Авторы: Григорьев Ф.В., Сулимов В.Б., Тихонравов А.В.
- Журнал: Журнал физической химии
- Том: 94
- Номер: 5
- Год издания: 2020
- Издательство: ФГБУ "Издательство "Наука"
- Местоположение издательства: Москва
- Первая страница: 1
- Последняя страница: 6
- Аннотация: Проведено классическое молекулярно-динамическое моделирование напыления тонкой пленки, состоящей из чередующихся плотных и пористых слоев. Рассчитаны структурные параметры пленки. При моделировании отжига напыленной пленки найдено, что концентрация основных точечных дефектов заметно уменьшается во всех слоях пленки. На основе корреляций между плотностью и показателем преломления получено, что величина показателя преломления варьируется от 1.3 до 1.49, достигая минимального значения в слоях с максимальной пористостью. Такие слои могут быть использованы при конструировании многослойных оптических покрытий, обеспечивающих пропускание и отражение света в заданных диапазонах длин волн.
- Добавил в систему: Григорьев Федор Васильевич