|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ФНКЦ РР |
||
Изменение отражательной способности зеркал Мо(111) при экспозиции в D2-N2 плазместатья
- Авторы: Городецкий А.Е., Буховец В.Л., Маркин А.В., Залавутдинов Р.Х., Войтицкий В.Л., Захаров А.П., Золотаревский В.И., Рыбкина Т.В., Архипушкин И.А., Казанский Л.П.
- Сборник: Институт физической химии и электрохимии им. А.Н.Фрумкина РАН - 90 лет. Сборник научных трудов
- Серия: ИФХЭ – 90 лет
- Год издания: 2019
- Место издания: ИФХЭ РАН Москва
- Первая страница: 120
- Последняя страница: 122
- Аннотация: Показано, что в плазме смеси D2-N2 можно очищать монокристаллическое молибденовое зеркало от загрязняющих поверхность примесей без изменения отражательной способности зеркала.
- Добавил в систему: Городецкий Александр Ефимович