Аннотация:Предложены две новые возможности стандартной зондовой диагностики. Первая относится к ис-
следованию изотропной бесстолкновительной плазмы низкого давления, в которой функция рас-
пределения электронов по энергиям близка к максвелловской. В этих условиях справедливы закон
Больцмана, эффект Бома и “Закон 3/2”. Составленная из них система уравнений для цилиндриче-
ского зонда Ленгмюра позволила определять толщины зондового слоя объемного заряда и средней
массы ионов. Решение этой задачи обеспечила аккуратная зондовая диагностика ксеноновой плаз-
мы ВЧ индукционного разряда при давлении р = 2 мТорр, позволившая определить эксперимен-
тальную величину коэффициента Бома CБЦил = 1.22. Вторую возможность составили способ и
устройство для оценки плотности ионного тока на стенку под плавающим потенциалом с помощью
радиально подвижного имитатора плоского пристеночного зонда Ленгмюра. Реализация этой воз-
можности в ксеноновой плазме с теми же операционными параметрами послужила основой для
разработки ионного источника, в котором роль указанной стенки выполнял эмиссионный электрод
ионно-оптической системы источника.