|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ФНКЦ РР |
||
Two methods of improving dopant contrast for semiconductor structures under thin surface layers in scanning electron microscopeтезисы доклада Тезисы
- Авторы: Rau E., Tatarintsev A., Kupreenko S., Karaulov V., Kolybin S.
- Сборник: Proceedings of the International Conference "Micro- and Nanoelectronics - 2016" ICMNE - 2016 Book of abstracts
- Тезисы
- Год издания: 2016
- Место издания: ООО "МАКС Пресс" Москва
- Первая страница: P1-54
- Последняя страница: P1-54
- Добавил в систему: Купреенко Степан Юрьевич
Прикрепленные файлы
| № | Имя | Описание | Имя файла | Размер | Добавлен |
|---|---|---|---|---|---|
| 1. | Полный текст | ICMNE-2016.docx | 58,7 КБ | 7 октября 2016 [KupreenkoSU] |