Выберите категорию обращения:
Общие вопросы
Отчеты
Рейтинги
Мониторинговый отчёт
Диссертационные советы
Конкурсы
Ввод данных
Структура организаций
Аспирантура
Научное оборудование
Импорт педагогической нагрузки
Журналы и импакт-факторы
Тема обращения:
Описание проблемы:
Введите почтовый адрес:
ИСТИНА
Войти в систему
Регистрация
ФНКЦ РР
Главная
Поиск
Статистика
О проекте
Помощь
Atomic layer etching of Silicon Oxide
статья
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 21 октября 2020 г.
Авторы:
Kuzmenko V.,
Miakonkikh A.
,
Rudenko K.
Журнал:
Journal of Physics: Conference Series
Том:
1410
Год издания:
2019
Издательство:
IOP Publishing
Местоположение издательства:
[Bristol, UK], England
Первая страница:
012023
Добавил в систему:
Мяконьких Андрей Валерьевич